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HW-30A测试样品气敏性能时样品需要做什么处理?

作者 luzhong_2007
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
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我在硅片上镀了一层膜,想测试一下改膜对气敏的灵敏度,用HW-30A或WS-30A仪器测试时是不是只需要在样品上焊上两个电极就可以拿去测了?如果是,电极有什么要求,如电极材料(铂丝?)、如何焊接(直接用电烙铁焊在上面?)?
我是第一次做该测试,哪位大侠可以知道一下,谢谢哈~ 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • whit

    薄膜一般需要在表面做一个叉指电极,然后接线测试。
    直接在上面焊点电极的话,电阻太大
    你的薄膜的导电性怎么样?

  • luzhong_2007

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 00:47:04
    薄膜一般需要在表面做一个叉指电极,然后接线测试。
    直接在上面焊点电极的话,电阻太大
    你的薄膜的导电性怎么样?

    我的薄膜的导电性正打算去测试,但查阅文献导电性还是可以的,氧化锌。
    做叉指电极是不是需要光刻的?我们实验室没这个条件,请问是否有现成可以买?如果有,买来如何与我的那个薄膜连接?
    谢谢哈~

  • whit

    ZnO的话应该不用光刻,你做个简陋一点的掩埋板(做成叉指电极状),然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极,然后普通接线就可以测试了。

  • luzhong_2007

    引用回帖:
    4楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 09:03:08
    ZnO的话应该不用光刻,你做个简陋一点的掩埋板(做成叉指电极状),然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极,然后普通接线就可以测试了。

    好的,我试试,如果还有什么问题再来问你,谢谢哈~

  • luzhong_2007

    引用回帖:
    4楼: Originally posted by whit at 2012-09-24 09:03:08
    ZnO的话应该不用光刻,你做个简陋一点的掩埋板(做成叉指电极状),然后用真空热蒸发、电子束蒸发或溅射等物理技术把金属镀上去做成叉指电极,然后普通接线就可以测试了。

    大侠,你好,我再请教一下,那个样品尺寸是大点好还是小点好?我约10*10mm硅片上镀膜,在热蒸发镀上铟叉指电极不知道可不可以?不知道用铟材料可否?谢谢哈~

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