跪求解决分子泵问题！！
我们用的沈阳科兴的磁控溅射仪，半年没用了，现在开始使用，可是设备在工作期间，分子泵自动停止运转，以前抽真空几天都不会出现这种情况，上次拿氮气枪吹了吹分子泵电源，用了一周正常。昨晚8点开始抽真空，10点的时候抽到10的-4，早上一看停了5555555，这是怎么回事，请高手指点！！急急急！！！

[ Last edited by Pd7577 on 2012-3-23 at 14:13 ] 返回小木虫查看更多