楼主可以在国家知识产权库的欧洲专利库中检索相关的专利。
爱思强公司的两款系统行星系统是菲利普的授权专利，而Thomas的ＣＣＳ系统容量更大。
参考：
......AIXTRON基于行星反应室(Planetary Reactor&reg或者近耦合喷淋头(Close Coupled Showerhead&reg......
第8页：（8/103）
https://www.nanoingermany.com/vdi_files/Brochure-CIIF-2007.pdf
.....至1992年，德国爱思强（AIXTRON）依据菲利普授权专利，推出第一台可用于砷化镓GaAs与磷化铟InP系列材料的多片式行星式反应室Planetary Reactor®....
....随着产业持续成长，爱思强透过持续发展Planetary概念及扩充Thomas Swan（1999年时被爱思强并购）的喷淋领头式气体喷嘴（Close Coupled Showerhead , CCS）原理，开发出更大容量的设备。
https://www.csot-mag.com/article_display.asp?id=711
https://www.ledgc.cn/ledtech/Illumination/2743.html，