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| 本人想知道德国爱思强公司的两款系统行星系统和收购英国Thomas的ＣＣＳ系统的具体区别是什么？两者各自优缺点，越详细越好，不胜感激 |
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qfw_68
版主 (文坛精英)
有尾巴的青蛙
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【答案】应助回帖
Wang_Yupeng(金币+20, 博学EPI+1): 灰常感谢，受益匪浅 2011-11-09 13:15:18
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楼主可以在国家知识产权库的欧洲专利库中检索相关的专利。 爱思强公司的两款系统行星系统是菲利普的授权专利，而Thomas的ＣＣＳ系统容量更大。 参考： ......AIXTRON基于行星反应室(Planetary Reactor®  或者近耦合喷淋头(Close Coupled Showerhead®......第8页：（8/103） https://www.nanoingermany.com/vdi_files/Brochure-CIIF-2007.pdf .....至1992年，德国爱思强（AIXTRON）依据菲利普授权专利，推出第一台可用于砷化镓GaAs与磷化铟InP系列材料的多片式行星式反应室Planetary Reactor®.... ....随着产业持续成长，爱思强透过持续发展Planetary概念及扩充Thomas Swan（1999年时被爱思强并购）的喷淋领头式气体喷嘴（Close Coupled Showerhead , CCS）原理，开发出更大容量的设备。 https://www.csot-mag.com/article_display.asp?id=711 https://www.ledgc.cn/ledtech/Illumination/2743.html |
2楼2011-11-09 07:05:31
