专业技术词汇解释呢
请教高手什么是台面刻蚀，MESA还有ICP、ITO是什么?
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ITO:纳米铟锡金属氧化物
ICP:电感耦合等离子体
MESA:台面
ITO(Indium-Tin Oxide)：氧化铟锡。是一种透明导电玻璃。
ICP（inductively coupled plasma）：感应耦合等离子体。一种常用的干法刻蚀的等离子体源。
台面刻蚀（MESA）：就是在薄膜、器件等表面上面根据需要刻蚀出台面结构。可以利用掩膜结合ICP刻蚀来实现，