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铜虫 (初入文坛)

[求助] 专业技术词汇解释呢

请教高手什么是台面刻蚀，MESA还有ICP、ITO是什么?

1楼 2011-10-22 20:46:46

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金虫 (正式写手)

ITO:纳米铟锡金属氧化物
ICP:电感耦合等离子体
MESA:台面

宠辱不惊，看庭前花开花落；去留无意，看天外云卷云舒。

2楼2011-10-22 21:45:06

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版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

Wang_Yupeng(金币+5, 博学EPI+1): 非常感谢 2011-10-24 12:45:05

ITO(Indium-Tin Oxide)：氧化铟锡。是一种透明导电玻璃。
ICP（inductively coupled plasma）：感应耦合等离子体。一种常用的干法刻蚀的等离子体源。
台面刻蚀（MESA）：就是在薄膜、器件等表面上面根据需要刻蚀出台面结构。可以利用掩膜结合ICP刻蚀来实现。

没有困难创造困难也要上网。

3楼2011-10-23 12:40:43

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