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请教薄膜样品做XRD、SEM和原子力显微镜测试的先后顺序

作者 runlanzhan
来源: 小木虫 100 2 举报帖子
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如题,做这些测试会不会对薄膜表面有影响,需要考虑测试的先后问题吗? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • qfw_68

    如果薄膜导电,不需要喷金等,可以先测AFM,再测SEM,最后测XRD
    否则先测AFM,再测XRD,最后测SEM
    AFM和XRD是无损检测,但AFM怕样品弄脏,所以一般先测,

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