如题,做这些测试会不会对薄膜表面有影响,需要考虑测试的先后问题吗? 返回小木虫查看更多
如果薄膜导电,不需要喷金等,可以先测AFM,再测SEM,最后测XRD 否则先测AFM,再测XRD,最后测SEM AFM和XRD是无损检测,但AFM怕样品弄脏,所以一般先测,
如果薄膜导电,不需要喷金等,可以先测AFM,再测SEM,最后测XRD
否则先测AFM,再测XRD,最后测SEM
AFM和XRD是无损检测,但AFM怕样品弄脏,所以一般先测,