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【讨论】AAO/Ti/Si+电沉积+Ni nanowires

作者 jinxiaoyun
来源: 小木虫 500 10 举报帖子
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最近在做硅基上的AAO模板 ,打算直接在硅片电沉积Ni纳米线,一直郁闷的是AAO/Si的导电性问题,有文献上是在硅片上先镀一层Ti,然后镀铝,铝的阳极氧化完成后在继续氧化,使阻挡层溶解完,直接电沉积Ni纳米线。纳闷的是Ti也会氧化的哈 ,二氧化钛的导电性貌似也不好的吧 ,而且文献上讲的电位为-0.9v。
虫友们有人做过想关的没有?
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  • 精华评论
  • guwei2892091

    引用回帖:
    Originally posted by jinxiaoyun at 2010-12-02 20:33:00:
    最近在做硅基上的AAO模板 ,打算直接在硅片电沉积Ni纳米线,一直郁闷的是AAO/Si的导电性问题,有文献上是在硅片上先镀一层Ti,然后镀铝,铝的阳极氧化完成后在继续氧化,使阻挡层溶解完,直接电沉积Ni纳米线。纳闷 ...

    Ti是为了提高Al与硅的粘结性,AAO/Si导电性不是问题,AAO很容易从硅片上脱落

  • jinxiaoyun

    引用回帖:
    Originally posted by guwei2892091 at 2010-12-03 14:20:36:

    Ti是为了提高Al与硅的粘结性,AAO/Si导电性不是问题,AAO很容易从硅片上脱落

    你做过吗?最近在做电沉积,貌似沉积不上,气泡倒是很多,氢气貌似在镍还原之前析出来了,悲剧的一米,模板上好多肉眼都能看到的小坑。。。

  • shikyang

    那是你的模板被腐蚀了兄弟

  • jinxiaoyun

    引用回帖:
    Originally posted by shikyang at 2010-12-06 06:05:41:
    那是你的模板被腐蚀了兄弟

    我觉得应该是产生气泡时形成的吧 。。

  • guwei2892091

    引用回帖:
    Originally posted by jinxiaoyun at 2010-12-04 09:07:13:

    你做过吗?最近在做电沉积,貌似沉积不上,气泡倒是很多,氢气貌似在镍还原之前析出来了,悲剧的一米,模板上好多肉眼都能看到的小坑。。。

    我也做过,也没沉进去

  • jinxiaoyun

    引用回帖:
    Originally posted by guwei2892091 at 2010-12-06 10:48:53:

    我也做过,也没沉进去

    你以前怎么做的?

  • guwei2892091

    引用回帖:
    Originally posted by jinxiaoyun at 2010-12-06 12:31:13:

    你以前怎么做的?

    也是直接在硅片蒸铝做AAO

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