Originally posted by xunmengyuan at 2010-12-02 19:05:27:
我们磁控溅射上的射频功率源最近坏了，加功率的时候电流很大而电压很小，以为是电子管坏了，换了新的电子管还是不行，而且电子管很烫手，请教高手指点