在使用等离子清洗机（PLASMA）的过程中发现，当反应气体流量减小，进而轰击强度增加的过程中，待处理的玻璃表面形成了一层5-20纳米的沉积物。我们本来的目的是要将玻璃表层去除5-10纳米，结果反而增加了。增加的这层东西外观上看不出来和玻璃本体材料有何区别，不经过测量真是发现不了。后来经过反复的实验和各种测试方法验证，确实证明增加了厚度。

我们采用的是氩气作为反应气体，流量为5SCCM，轰击时间30分钟，处理的材料为一种玻璃材质。

请问各位有经验的朋友，这种现象怎么造成的，新增的东西是什么，怎么经过调整克服它？ 返回小木虫查看更多