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伤心的青虫

铜虫 (小有名气)

[交流] 请问等离子清洗后的玻璃表面沉积物+有效至5月5日

在使用等离子清洗机（PLASMA）的过程中发现，当反应气体流量减小，进而轰击强度增加的过程中，待处理的玻璃表面形成了一层5-20纳米的沉积物。我们本来的目的是要将玻璃表层去除5-10纳米，结果反而增加了。增加的这层东西外观上看不出来和玻璃本体材料有何区别，不经过测量真是发现不了。后来经过反复的实验和各种测试方法验证，确实证明增加了厚度。

我们采用的是氩气作为反应气体，流量为5SCCM，轰击时间30分钟，处理的材料为一种玻璃材质。

请问各位有经验的朋友，这种现象怎么造成的，新增的东西是什么，怎么经过调整克服它？
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学化工原来是全才的基础啊……
1楼 2010-04-28 14:06:05
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
楼主的设备中是否加装了栅极，从而引起了玻璃衬底的沾污？
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2010-04-28 14:55:32
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伤心的青虫

铜虫 (小有名气)
我在看PLASMA的MANUAL里面没有提到有安装栅极呢，是不是镀膜机里面用到的。如果是栅极污染是怎么样的呢
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学化工原来是全才的基础啊……
3楼2010-04-28 15:28:44
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
栅极材料选择不好时会污染衬底。因为等离子体中的粒子轰击栅极也会溅射下来东西。另外新设备刚用的时候如果没很好清洗干净也会带来沾污。
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2010-04-28 15:41:28
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