【求助】已知方阻如何求电阻率？
一厚度约为1μm的薄膜，用RTS-9四探针测试仪测得其方块电阻为1500kΩ/□,如何求得其电阻率？
用此公式对吗？ρ=R□*W*F(W/S)/10
ρ为电阻率，单位：Ω/□,
W为膜厚 ，单位：mm
S为探针间距，单位：mm
F(W/S)为厚度修正系数，约为1
请问其电阻率是在kΩ·cm数量级吗？还是按我所算得的150Ω·cm？
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京公网安备 11010802022153号
恭喜你测出了结果。
1微米厚，就是10^-4厘米，电阻率=方块电阻*10^-4厘米。你的电阻率应该是150Ω·cm。是半导体特征。
但是你的薄膜是不是1微米厚，还需要测量，否则厚度不同算出来的电阻率差别较大
管它是不是1微米厚，总不可能相差3个数量级的。我用四探针测其薄层电阻率居然是~75kΩ·cm了，所以我怀疑自己算的结果是不是不对
，
测薄膜要用薄层电阻率，仪器主要测的是电阻，没有进行厚度换算。如果用薄片，仪器会自动扣除厚度，所以你设的厚度值不同，完全有可能达到20倍的误差。另外你的材料不均匀也会有较大影响
如果是同一个点分别用薄层和薄片测的，那么厚度是相当大的影响因素。