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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 【求助】已知方阻如何求电阻率？
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【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 082101402 的 3 个金币

082101402

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】已知方阻如何求电阻率？

一厚度约为1μm的薄膜，用RTS-9四探针测试仪测得其方块电阻为1500kΩ/□,如何求得其电阻率？
        
                 用此公式对吗？ρ=R□*W*F(W/S)/10   
                                   ρ为电阻率，单位：Ω/□,
                                   W为膜厚 ，单位：mm
                                   S为探针间距，单位：mm
                                   F(W/S)为厚度修正系数，约为1
请问其电阻率是在kΩ·cm数量级吗？还是按我所算得的150Ω·cm？
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1楼 2010-03-23 21:17:09
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
★
082101402(金币+2): 2010-03-24 15:25
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-25 01:30
恭喜你测出了结果。
1微米厚，就是10^-4厘米，电阻率=方块电阻*10^-4厘米。你的电阻率应该是150Ω·cm。是半导体特征。
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2楼2010-03-24 11:36:35
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
★
082101402(金币+1): 2010-03-24 15:25
化学小工(金币+1):鼓励交流 2010-03-25 01:30
但是你的薄膜是不是1微米厚，还需要测量，否则厚度不同算出来的电阻率差别较大
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3楼2010-03-24 11:38:27
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082101402

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by ftfxiaoyu at 2010-03-24 11:38:27:
但是你的薄膜是不是1微米厚，还需要测量，否则厚度不同算出来的电阻率差别较大

管它是不是1微米厚，总不可能相差3个数量级的。我用四探针测其薄层电阻率居然是~75kΩ·cm了，所以我怀疑自己算的结果是不是不对
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4楼2010-03-24 15:25:20
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
082101402(金币+2):多谢指点 2010-03-26 21:14
测薄膜要用薄层电阻率，仪器主要测的是电阻，没有进行厚度换算。如果用薄片，仪器会自动扣除厚度，所以你设的厚度值不同，完全有可能达到20倍的误差。另外你的材料不均匀也会有较大影响
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5楼2010-03-26 08:55:45
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ftfxiaoyu

木虫 (正式写手)
082101402(金币+2): 2010-03-26 20:56
如果是同一个点分别用薄层和薄片测的，那么厚度是相当大的影响因素。
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6楼2010-03-26 08:58:36
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