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【求助】已知方阻如何求电阻率？
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一厚度约为1μm的薄膜，用RTS-9四探针测试仪测得其方块电阻为1500kΩ/□,如何求得其电阻率？ 用此公式对吗？ρ=R□*W*F(W/S)/10 ρ为电阻率，单位：Ω/□, W为膜厚 ，单位：mm S为探针间距，单位：mm F(W/S)为厚度修正系数，约为1 请问其电阻率是在kΩ·cm数量级吗？还是按我所算得的150Ω·cm？ |
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