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【讨论】FESEM与SEM的区别

作者 hustsunboy
来源: 小木虫 350 7 举报帖子
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FESEM与SEM的区别在哪,是不是前者分辨率更高?现在SEM最高能放大多少倍,而且还很清晰。 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • 骑着蜗牛追火箭

    前者叫场发射扫描电镜,电子束是靠电场拉出来的,束斑小,分辨率高;后者是通过加束热电子产生的电子束,分辨率不及前者。

  • 198zhaoyan

    FESEM是场发射扫描电镜分辨率高,SEM是扫面电镜

  • tsq

    FSEM分辨率高,可以放大几十万倍,SEM分辨率较低,一般只能放大一到两万倍!

  • temedx

    上面说的基本到位,但SEM也可以认为是扫描电子显微镜的总称,而FESEM只是采用了场发射枪的SEM,是其中的一种。
    FE是场发射的缩写,采用高亮度单色性好的电子光源,分为热场和冷场两种,冷场的分辨率略高,一般分辨率能在1 nm左右。

  • guody

    引用回帖:
    Originally posted by tsq at 2009/11/24 22:30:
    FSEM分辨率高,可以放大几十万倍,SEM分辨率较低,一般只能放大一到两万倍!

    呵呵,普通的sem放大倍数也可以比2w倍高,但是需要对sem设备非常熟悉,而且样品比较适合观测,5w倍也可以的,不过感觉这是它极限了

  • duke-007

    SEM 是可以放大到五万以上的。

  • fdgudong

    日立的S-5500可以放大到200万倍

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