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hustsunboy

金虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】FESEM与SEM的区别

FESEM与SEM的区别在哪,是不是前者分辨率更高?现在SEM最高能放大多少倍,而且还很清晰。
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骑着蜗牛追火箭

木虫 (著名写手)

纳米小生

★ ★
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mhwu514(金币+1,VIP+0): 11-24 18:32
前者叫场发射扫描电镜,电子束是靠电场拉出来的,束斑小,分辨率高;后者是通过加束热电子产生的电子束,分辨率不及前者。
2楼2009-11-24 17:59:30
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198zhaoyan

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★
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mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论。 11-24 22:33
FESEM是场发射扫描电镜分辨率高,SEM是扫面电镜
3楼2009-11-24 20:42:51
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tsq

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★
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mhwu514(金币+1,VIP+0):谢谢讨论。 11-24 22:34
FSEM分辨率高,可以放大几十万倍,SEM分辨率较低,一般只能放大一到两万倍!
4楼2009-11-24 22:30:33
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temedx

专家顾问 (著名写手)

★ ★
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骑着蜗牛追火箭(金币+1,VIP+0):说得很到位 11-25 08:32
上面说的基本到位,但SEM也可以认为是扫描电子显微镜的总称,而FESEM只是采用了场发射枪的SEM,是其中的一种。
FE是场发射的缩写,采用高亮度单色性好的电子光源,分为热场和冷场两种,冷场的分辨率略高,一般分辨率能在1 nm左右。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
5楼2009-11-25 07:37:32
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guody

铁杆木虫 (正式写手)


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引用回帖:
Originally posted by tsq at 2009/11/24 22:30:
FSEM分辨率高,可以放大几十万倍,SEM分辨率较低,一般只能放大一到两万倍!

呵呵,普通的sem放大倍数也可以比2w倍高,但是需要对sem设备非常熟悉,而且样品比较适合观测,5w倍也可以的,不过感觉这是它极限了。
求木之长者,必固其根本;欲流之远者,必浚其泉源;思国之安者,必积其德义。
6楼2009-11-25 09:19:24
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duke-007

木虫 (著名写手)


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SEM 是可以放大到五万以上的。
7楼2009-11-26 15:21:49
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fdgudong

铁杆木虫 (正式写手)


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日立的S-5500可以放大到200万倍
fdgudong
8楼2009-11-30 19:02:30
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