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【请教】单晶硅的介电常数是多少?

作者 盒子
来源: 小木虫 350 7 举报帖子
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单晶硅的介电常数是多少
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  • 精华评论
  • zhrdrc

    介电常数应该很低,你用来做什么的?

  • 盒子

    引用回帖:
    Originally posted by zhrdrc at 2009-9-22 09:47:
    介电常数应该很低,你用来做什么的?

    在硅片上镀绝缘薄膜,想计算薄膜的介电常数,但是不知道硅衬底对它的影响是不是很大。

  • qfw_68

    单晶硅的相对介电常数为11.9

  • zhrdrc

    引用回帖:
    Originally posted by 盒子 at 2009-9-22 10:09:

    在硅片上镀绝缘薄膜,想计算薄膜的介电常数,但是不知道硅衬底对它的影响是不是很大。

    镀绝缘薄膜,应该不会有很大的影响的,你测试的时候问下测试的老师

  • 明光

    单晶硅一般是掺杂的,分P型和N型,我们一般关注其电阻率。不同厂家和型号的硅片物理性能也不同。
    介电常数能不能一概而论,你需要弄清楚的

  • qfw_68

    不同掺杂的P、N型硅的介电常数肯定是不一样的(小于11.9)。11.9是本征单晶硅的数据。

  • 盒子

    引用回帖:
    Originally posted by zhrdrc at 2009-9-22 10:23:

    镀绝缘薄膜,应该不会有很大的影响的,你测试的时候问下测试的老师

    不懂哦,为什么不会有很大的影响呢?

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