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如何利用XRD获得薄膜晶格取向

作者 cooldesun
来源: 小木虫 650 13 举报帖子
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各位前辈,问大家个问题,如果利用XRD获得薄膜晶格取向啊?我还没有使用过XRD,这个问题看得我很头大。麻烦了解的高手帮下忙,谢谢了,最后有举例,谢谢!

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  • 精华评论
  • 娃娃虫8956

    把测试的数据导入origin或者JADE里,然后结合PDF卡找强的衍射峰对应的角度

  • Kilor

    刚看了篇文献关于膜上面颗粒取向分布的。
    它将膜的XRD与粉末(非成膜)的样品的XRD进行了对比,
    然后发现膜的XRD中有几个峰明显比粉末对应的峰要强。
    然后说峰对应的面取向...
    其实,我也没看懂,因为文献里有一个角度更大,而且更强的峰,它都没有标晶面,也没有说是沿着这个晶面取向。

    交流交流

  • csxray

    接楼上,有了粉末(非定向)标准XRD各晶面指数的参照,就可以判定薄膜有没有定向:与标准强度基本一致薄膜无定向;与标准强度差异较大薄膜有定向。根据薄膜衍射峰的晶面指数(hkl)可以判定薄膜在那个方向定向,如:(00l)方向、(hk0)方向。。。等

  • Tosser

    对薄膜,一般做小角散射

  • Kilor

    引用回帖:
    Originally posted by Tosser at 2009-4-28 10:29:
    对薄膜,一般做小角散射

    小角散射和大角的有什么不一样啊?
    就角度小点吗?

  • cooldesun

    ms我的膜要测试的话是从10°到70°的。不算小角度哎。
    请教csxray ,与标准强度基本一致薄膜无定向;与标准强度差异较大薄膜有定向。这个是什么意思呢?
    还有,怎么能判断是否是择优取向呢?

  • Kilor

    引用回帖:
    Originally posted by cooldesun at 2009-4-28 15:33:
    ms我的膜要测试的话是从10°到70°的。不算小角度哎。
    请教csxray ,与标准强度基本一致薄膜无定向;与标准强度差异较大薄膜有定向。这个是什么意思呢?
    还有,怎么能判断是否是择优取向呢?

    我的这幅图中,
    上图是粉末的xrd
    下图是AlO上薄膜的XRD,其中没有扣除AlO的薄膜,
    下图中标的即择优取向后的XRD对应的晶面。
    至于具体取向是什么 我也不清楚。
    我这幅图中,下图的多个XRD峰是由于其取向在一定的角度范围内造成的,
    如果是单一取向,我就不知道到底有几个峰

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