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cooldesun

新虫 (小有名气)

[交流] 如何利用XRD获得薄膜晶格取向

各位前辈，问大家个问题，如果利用XRD获得薄膜晶格取向啊？我还没有使用过XRD，这个问题看得我很头大。麻烦了解的高手帮下忙，谢谢了，最后有举例，谢谢！
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镀膜与膜层或涂层检测

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1楼 2009-04-27 18:13:45
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娃娃虫8956

新虫 (正式写手)

软件分析

★
洛阳学子(金币+1,VIP+0):鼓励新虫 4-29 13:00
把测试的数据导入origin或者JADE里，然后结合PDF卡找强的衍射峰对应的角度
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谢谢大家的帮助！
2楼2009-04-27 18:26:01
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Kilor

金虫 (著名写手)
★
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢交流 4-28 11:54
刚看了篇文献关于膜上面颗粒取向分布的。
它将膜的XRD与粉末（非成膜）的样品的XRD进行了对比，
然后发现膜的XRD中有几个峰明显比粉末对应的峰要强。
然后说峰对应的面取向...
其实，我也没看懂，因为文献里有一个角度更大，而且更强的峰，它都没有标晶面，也没有说是沿着这个晶面取向。

交流交流
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3楼2009-04-27 18:27:24
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csxray

铁杆木虫 (正式写手)
★
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢交流 4-28 11:54
接楼上，有了粉末（非定向）标准XRD各晶面指数的参照，就可以判定薄膜有没有定向：与标准强度基本一致薄膜无定向；与标准强度差异较大薄膜有定向。根据薄膜衍射峰的晶面指数（hkl）可以判定薄膜在那个方向定向，如：(00l)方向、(hk0)方向。。。等
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4楼2009-04-27 19:47:27
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Tosser

木虫 (正式写手)
★
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢交流.能否回答一下楼下的问题? 4-28 11:54
对薄膜，一般做小角散射
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5楼2009-04-28 10:29:01
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Kilor

金虫 (著名写手)
★
洛阳学子(金币+1,VIP+0):最好找本薄膜表征的书看看 4-28 11:55
引用回帖:
Originally posted by Tosser at 2009-4-28 10:29:
对薄膜，一般做小角散射

小角散射和大角的有什么不一样啊？
就角度小点吗？
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6楼2009-04-28 11:12:22
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cooldesun

新虫 (小有名气)
ms我的膜要测试的话是从10°到70°的。不算小角度哎。
请教csxray ，与标准强度基本一致薄膜无定向；与标准强度差异较大薄膜有定向。这个是什么意思呢？
还有，怎么能判断是否是择优取向呢？
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7楼2009-04-28 15:33:33
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Kilor

金虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by cooldesun at 2009-4-28 15:33:
ms我的膜要测试的话是从10°到70°的。不算小角度哎。
请教csxray ，与标准强度基本一致薄膜无定向；与标准强度差异较大薄膜有定向。这个是什么意思呢？
还有，怎么能判断是否是择优取向呢？

我的这幅图中，
上图是粉末的xrd
下图是AlO上薄膜的XRD，其中没有扣除AlO的薄膜，
下图中标的即择优取向后的XRD对应的晶面。
至于具体取向是什么 我也不清楚。
我这幅图中，下图的多个XRD峰是由于其取向在一定的角度范围内造成的，
如果是单一取向，我就不知道到底有几个峰。
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8楼2009-04-28 18:14:46
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csxray

铁杆木虫 (正式写手)
★
洛阳学子(金币+1,VIP+0):多谢交流 4-29 13:01
楼上的图我也看不懂，挺矛盾的。既然(202)和(20-2)晶面有定向,平行的的(101)和(10-1)晶面也应当有定向才对，可(101)和(10-1)晶面竟然没有出现！另外，你的基体AlO有没有定向？它和薄膜到底有几处重峰？
回6楼，择优取向通常指层状物质，其判断是(00l)晶面的峰都加强。云母就很突出，很容易出现(001),(002)...的峰增强
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9楼2009-04-28 23:34:46
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Kilor

金虫 (著名写手)
★
洛阳学子(金币+1,VIP+0):积极交流 4-29 13:02
引用回帖:
Originally posted by csxray at 2009-4-28 23:34:
楼上的图我也看不懂，挺矛盾的。既然(202)和(20-2)晶面有定向,平行的的(101)和(10-1)晶面也应当有定向才对，可(101)和(10-1)晶面竟然没有出现！另外，你的基体AlO有没有定向？它和薄膜到底有几处重峰？
回6楼，择 ...

你看的好细啊，
既然(202)和(20-2)晶面有定向,平行的的(101)和(10-1)晶面也应当有定向才对，
这个问题，文章里没有讲。
你的基体AlO有没有定向也没有讲。
文章中只说下面那幅图出现的峰跟上面的重合，所以定向生长。
看来里面学问很多啊。
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10楼2009-04-29 08:34:30
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