【求教】以硅片为衬底的样品加热温度可达多少？
我做了个样品，衬底为硅片，想煅烧一下，空气中煅烧，不知最高温度能达多少度，硅片不会化掉吧？如果衬底是ITO玻璃、普通玻璃呢？请有经验的虫友帮忙啊。
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硅片，1400度以上，
一般这个时候，薄膜已经不行了，会分裂。
玻璃，500度左右，600度就已经软化，
好的玻璃如pyrex的，可以到600度。
以硅片为衬底煅烧，那应该考察一下硅的熔点喽！是不是啊
can not agree.
For silicon, it is easy to oxidize at such a high temperature.
Better lower than several hundred degrees.
btw, what material do you bake?
，
我在真空炉里烧过320和800，都挺好的。
空气中煅烧的话si容易热氧化，你的样品致密么？
没有问题，我烧过1000度，硅片没啥事。
Si片1000度没问题，温度再高氧化和扩散比较厉害