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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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coldice

禁虫 (正式写手)

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robinsonguo

木虫 (著名写手)

★ ★
memser(金币+2,VIP+0):呵呵,感谢提供信息:) 3-9 12:33
硅片,1400度以上,
一般这个时候,薄膜已经不行了,会分裂。

玻璃,500度左右,600度就已经软化,
好的玻璃如pyrex的,可以到600度。
引用回帖:
Originally posted by coldice at 2009-3-9 10:53:
我做了个样品,衬底为硅片,想煅烧一下,空气中煅烧,不知最高温度能达多少度,硅片不会化掉吧?如果衬底是ITO玻璃、普通玻璃呢?请有经验的虫友帮忙啊。

2楼2009-03-09 11:09:39
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回春

新虫 (初入文坛)

以硅片为衬底煅烧,那应该考察一下硅的熔点喽!是不是啊
常将有日思无日, 莫待无时思有时!
3楼2009-03-09 22:44:22
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chandlerbing

铜虫 (小有名气)

★ ★
kqy920(金币+1):谢谢应助!
coldice(金币+1,VIP+0):多谢! 3-11 14:37
can not agree.
For silicon, it is easy to oxidize at such a high temperature.
Better lower than several hundred degrees.

btw, what material do you bake?
引用回帖:
Originally posted by robinsonguo at 2009-3-9 11:09:
硅片,1400度以上,
一般这个时候,薄膜已经不行了,会分裂。

玻璃,500度左右,600度就已经软化,
好的玻璃如pyrex的,可以到600度。


~~
4楼2009-03-10 05:44:43
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大笨猪和聪明羊

荣誉版主 (职业作家)

★ ★ ★
kqy920(金币+2):谢谢应助!
coldice(金币+1,VIP+0):多谢 3-11 14:36
我在真空炉里烧过320和800,都挺好的。

空气中煅烧的话si容易热氧化,你的样品致密么?
大步向前
5楼2009-03-10 08:09:21
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coldice

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

6楼2009-03-10 14:29:24
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xiaolu9898

木虫 (正式写手)

资深泡菜


coldice(金币+1,VIP+0):多谢! 3-11 14:36
引用回帖:
Originally posted by coldice at 2009-3-10 14:29:


样品不致密,是些纳米片。500度应该没问题吧?我是说衬底。

没有问题,我烧过1000度,硅片没啥事。
7楼2009-03-10 15:23:32
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mnfe

金虫 (小有名气)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^ 3-13 11:17
Si片1000度没问题,温度再高氧化和扩散比较厉害
8楼2009-03-13 08:43:30
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