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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求教】以硅片为衬底的样品加热温度可达多少？
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coldice

禁虫 (正式写手)
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1楼 2009-03-09 10:53:53
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robinsonguo

木虫 (著名写手)
★ ★
memser(金币+2,VIP+0):呵呵，感谢提供信息：） 3-9 12:33
硅片，1400度以上，
一般这个时候，薄膜已经不行了，会分裂。

玻璃，500度左右，600度就已经软化，
好的玻璃如pyrex的，可以到600度。
引用回帖:
Originally posted by coldice at 2009-3-9 10:53:
我做了个样品，衬底为硅片，想煅烧一下，空气中煅烧，不知最高温度能达多少度，硅片不会化掉吧？如果衬底是ITO玻璃、普通玻璃呢？请有经验的虫友帮忙啊。

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2楼2009-03-09 11:09:39
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回春

新虫 (初入文坛)
以硅片为衬底煅烧，那应该考察一下硅的熔点喽！是不是啊
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常将有日思无日， 莫待无时思有时！
3楼2009-03-09 22:44:22
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chandlerbing

铜虫 (小有名气)
★ ★
kqy920(金币+1):谢谢应助！
coldice(金币+1,VIP+0):多谢！ 3-11 14:37
can not agree.
For silicon, it is easy to oxidize at such a high temperature.
Better lower than several hundred degrees.

btw, what material do you bake?
引用回帖:
Originally posted by robinsonguo at 2009-3-9 11:09:
硅片，1400度以上，
一般这个时候，薄膜已经不行了，会分裂。

玻璃，500度左右，600度就已经软化，
好的玻璃如pyrex的，可以到600度。
赞一下(1人) 回复此楼
~~
4楼2009-03-10 05:44:43
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大笨猪和聪明羊

荣誉版主 (职业作家)
★ ★ ★
kqy920(金币+2):谢谢应助！
coldice(金币+1,VIP+0):多谢 3-11 14:36
我在真空炉里烧过320和800，都挺好的。

空气中煅烧的话si容易热氧化，你的样品致密么？
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大步向前
5楼2009-03-10 08:09:21
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coldice

禁虫 (正式写手)
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6楼2009-03-10 14:29:24
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xiaolu9898

木虫 (正式写手)

资深泡菜
★
coldice(金币+1,VIP+0):多谢！ 3-11 14:36
引用回帖:
Originally posted by coldice at 2009-3-10 14:29:


样品不致密，是些纳米片。500度应该没问题吧？我是说衬底。

没有问题，我烧过1000度，硅片没啥事。
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7楼2009-03-10 15:23:32
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mnfe

金虫 (小有名气)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^ 3-13 11:17
Si片1000度没问题，温度再高氧化和扩散比较厉害
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8楼2009-03-13 08:43:30
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