准确来说
xps测量的精度好些，他能够分析非常非常微量的元素，这点要比tem的能谱好多了
有时候你想测量某种元素用tem的能谱不行，因为含量太低，但是xps可能就可以。
我分析纳米颗粒的外层物质，用tem能谱打了几次都不行，用xps就成。

含量准确来说，两种方法都不是很准确，只能作为一个辅助的表征手段，不能用作精确的分析。同样一个样品，你测量不同的地方，可能值都不一样，

谢谢呀!也有同样的感受

补充2楼一点，xps是测量样品整体的，一般来说测量范围为上百微米宽，毫米长的一个区域，但是深度不会超过10纳米。所以可重复性没问题。如果粉体样品连xps可重复性都很差，那估计是非常不均匀了（该扔了：-）。所以尽管是半定量的，还是很有说服力的。

tem是测量点的，很小的点，不会到微米，所以纳米材料电镜下什么都可能找到。可重复性比较差。