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灰常焱龑

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射机械泵真空抽不下去 已有3人参与

现在使用机械泵只能抽到20Pa左右,就抽不下去了。但是使用分子泵还能抽到5*10^-4Pa。换过机械泵油,调过零点,真空都降不下去。应该如何处理啊?
下面是气路图:
磁控溅射机械泵真空抽不下去
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jerryxinjie

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

7楼2015-10-16 00:27:06
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查看全部 7 个回答

bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

机械泵抽的可以了,我们这台以前也能抽到10到20pa,现在也不行了,抽到50pa我就可以打开分子泵了,没问题的,小于100pa都行的,至于分子泵,我们这台可以抽到4X10的-4,但是要抽四五个小时。有问题一起讨论。
谦虚谨慎的学习,与大家共勉!
2楼2015-10-05 09:56:54
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zhaolianbo

木虫 (正式写手)

这个 已经够可以了,不用担心
3楼2015-10-07 11:56:41
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
楼主注意素质啊,我这么回复,这么辛苦,早知道楼主这样,我就光看不说话了
谦虚谨慎的学习,与大家共勉!
4楼2015-10-07 14:04:17
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