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hailang397

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】磁控溅射突然掉真空 已有1人参与

请教大家一个问题,我做磁控溅射的时候,真空突然从3E-1掉到20Pa然后还继续掉,就赶紧把分子泵关了,关上腔体和抽真空的阀门后真空掉的也不快,后来又换了一台机械泵抽,加上分子泵能抽到6E-3,还没溅射,但是不知咋回事,真空又突然掉了到20Pa好像机械泵坏了似的。请高人指点一下啊,我有检查了一下机械泵,应该没问题的,密封也不会有问题。请高人指点,会不会是分子泵和机械泵连接的地方有问题啊?谢谢。
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


系统的密封出问题了。
2楼2010-11-25 23:08:50
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