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hailang397银虫 (小有名气)
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【求助】磁控溅射突然掉真空 已有1人参与
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| 请教大家一个问题，我做磁控溅射的时候，真空突然从3E-1掉到20Pa然后还继续掉，就赶紧把分子泵关了，关上腔体和抽真空的阀门后真空掉的也不快，后来又换了一台机械泵抽，加上分子泵能抽到6E-3，还没溅射，但是不知咋回事，真空又突然掉了到20Pa好像机械泵坏了似的。请高人指点一下啊，我有检查了一下机械泵，应该没问题的，密封也不会有问题。请高人指点，会不会是分子泵和机械泵连接的地方有问题啊？谢谢。 |
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cord 
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2楼2010-11-25 23:08:50