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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射机械泵真空抽不下去
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灰常焱龑

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射机械泵真空抽不下去 已有3人参与

现在使用机械泵只能抽到20Pa左右，就抽不下去了。但是使用分子泵还能抽到5*10^-4Pa。换过机械泵油，调过零点，真空都降不下去。应该如何处理啊?
下面是气路图：
磁控溅射机械泵真空抽不下去
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1楼 2015-10-04 18:18:10
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主注意素质啊，我这么回复，这么辛苦，早知道楼主这样，我就光看不说话了
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谦虚谨慎的学习，与大家共勉！
4楼2015-10-07 14:04:17
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bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。
机械泵抽的可以了，我们这台以前也能抽到10到20pa，现在也不行了，抽到50pa我就可以打开分子泵了，没问题的，小于100pa都行的，至于分子泵，我们这台可以抽到4X10的-4，但是要抽四五个小时。有问题一起讨论。
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谦虚谨慎的学习，与大家共勉！
2楼2015-10-05 09:56:54
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zhaolianbo

木虫 (正式写手)
这个 已经够可以了，不用担心
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3楼2015-10-07 11:56:41
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hrandy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

抽气后关闭阀，测量气压上升速度，若过快就是有地方漏气。
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6楼2015-10-15 21:54:17
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