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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 关于真空检漏
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chenjiahao

木虫 (正式写手)

[求助] 关于真空检漏 已有6人参与

求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？
希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。
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1楼 2014-11-04 09:30:54
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★有帮助 2014-11-05 15:55:55
极限真空能到要求，泵应该没问题。但是时间变长，应该是真空室污染或者管道吸附气体太多了，建议清晰镀膜室然后烘烤。

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5楼2014-11-04 21:34:54
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普通回帖

南京的李工

禁言 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★有帮助 2014-11-04 10:41:14
1各连接处涂些玻璃胶。
2天冷各部件、密封等收缩，间隙变大，也有原因。
3同时气温低，第二天早8点比以前真空低也正常。
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2楼2014-11-04 10:10:28
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 南京的李工 at 2014-11-04 10:10:28
1各连接处涂些玻璃胶。
2天冷各部件、密封等收缩，间隙变大，也有原因。
3同时气温低，第二天早8点比以前真空低也正常。

这个在8月份很热的时候就这样了，后来清理了腔室，稍微好了一点，现在又慢了。

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3楼2014-11-04 10:40:59
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141015

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-11-05 11:29:56
本帖内容被屏蔽
4楼2014-11-04 20:26:59
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 141015 at 2014-11-04 20:26:59
1，如果你的腔体是橡胶圈门。要用酒精棉擦拭橡胶圈以及门壁。
2，腔体应该清洗了，所有的能拆的拆下俩细砂纸打磨，然后超声清洗干净，烘烤箱一定要烤干。
3.靶材吸潮也有可能，将靶材取出来抽一下看看行不行。
4 ...

谢谢你，我们把橡胶圈都换了新的，进行了清洗，擦拭了门框，腔室加热烘烤过，所有的阀都在（6-8)E-4时，喷过酒精，仪表显示的压强数值没有变化。开仓门半小时，我们用除湿机实验室湿度常年维持在55%以下。

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6楼2014-11-05 14:32:08
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141015

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2014-11-05 15:08:01
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wtxlx04

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+2, ★有帮助 2014-11-07 08:17:45
从你的描述基本排除一切漏，脏等放气的可能性。
那么只有从泵的能力分析。分子泵有循环水么，烫么，和以前比如何？

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8楼2014-11-06 00:44:26
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gege43

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你用的机械泵是什么类型， 干泵还是油泵， 干泵的话有可能是改换里面的线圈了 时间长的磨损严重
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呵呵
9楼2014-11-06 09:25:18
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wtxlx04 at 2014-11-06 00:44:26
从你的描述基本排除一切漏，脏等放气的可能性。
那么只有从泵的能力分析。分子泵有循环水么，烫么，和以前比如何？

有循环水，工作时泵比较凉，泵抽速怎么测试呢?

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10楼2014-11-07 08:17:27
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