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chenjiahao木虫 (正式写手)
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[求助]
关于真空检漏 已有6人参与
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求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？ 希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。 |
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 制程设备维护保养 |
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chenjiahao
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chenjiahao
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3楼2014-11-04 10:40:59
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4楼2014-11-04 20:26:59
