应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 关于真空检漏
141/2返回列表12下一页
查看: 2457  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

chenjiahao

木虫 (正式写手)

[求助] 关于真空检漏 已有6人参与

求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？
希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

制程设备维护保养

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
这个地方真不错
1楼 2014-11-04 09:30:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★有帮助 2014-11-05 15:55:55
极限真空能到要求，泵应该没问题。但是时间变长，应该是真空室污染或者管道吸附气体太多了，建议清晰镀膜室然后烘烤。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2014-11-04 21:34:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

南京的李工

禁言 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★有帮助 2014-11-04 10:41:14
1各连接处涂些玻璃胶。
2天冷各部件、密封等收缩，间隙变大，也有原因。
3同时气温低，第二天早8点比以前真空低也正常。
赞一下 回复此楼
2楼2014-11-04 10:10:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 南京的李工 at 2014-11-04 10:10:28
1各连接处涂些玻璃胶。
2天冷各部件、密封等收缩，间隙变大，也有原因。
3同时气温低，第二天早8点比以前真空低也正常。

这个在8月份很热的时候就这样了，后来清理了腔室，稍微好了一点，现在又慢了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
这个地方真不错
3楼2014-11-04 10:40:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

141015

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-11-05 11:29:56
本帖内容被屏蔽
4楼2014-11-04 20:26:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 141015 at 2014-11-04 20:26:59
1，如果你的腔体是橡胶圈门。要用酒精棉擦拭橡胶圈以及门壁。
2，腔体应该清洗了，所有的能拆的拆下俩细砂纸打磨，然后超声清洗干净，烘烤箱一定要烤干。
3.靶材吸潮也有可能，将靶材取出来抽一下看看行不行。
4 ...

谢谢你，我们把橡胶圈都换了新的，进行了清洗，擦拭了门框，腔室加热烘烤过，所有的阀都在（6-8)E-4时，喷过酒精，仪表显示的压强数值没有变化。开仓门半小时，我们用除湿机实验室湿度常年维持在55%以下。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
这个地方真不错
6楼2014-11-05 14:32:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

141015

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
7楼2014-11-05 15:08:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wtxlx04

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+2, ★有帮助 2014-11-07 08:17:45
从你的描述基本排除一切漏，脏等放气的可能性。
那么只有从泵的能力分析。分子泵有循环水么，烫么，和以前比如何？

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
8楼2014-11-06 00:44:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

gege43

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你用的机械泵是什么类型， 干泵还是油泵， 干泵的话有可能是改换里面的线圈了 时间长的磨损严重
赞一下 回复此楼
呵呵
9楼2014-11-06 09:25:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wtxlx04 at 2014-11-06 00:44:26
从你的描述基本排除一切漏，脏等放气的可能性。
那么只有从泵的能力分析。分子泵有循环水么，烫么，和以前比如何？

有循环水，工作时泵比较凉，泵抽速怎么测试呢?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
这个地方真不错
10楼2014-11-07 08:17:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chenjiahao 的主题更新
141/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 3/150 2026-09-20 01:39 by 9i7PCSZyMzot
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 3/150 2026-09-20 01:27 by 9i7PCSZyMzot
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 3/150 2026-09-20 01:27 by 9i7PCSZyMzot
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 3/150 2026-09-20 01:15 by 9i7PCSZyMzot
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 3/150 2026-09-20 01:15 by 9i7PCSZyMzot
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 3/150 2026-09-20 00:51 by 9i7PCSZyMzot
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 3/150 2026-09-20 00:15 by 9i7PCSZyMzot
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 3/150 2026-09-20 00:03 by 9i7PCSZyMzot
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-20 00:03 by 9i7PCSZyMzot
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:51 by 9i7PCSZyMzot
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:27 by 9i7PCSZyMzot
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:27 by 9i7PCSZyMzot
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:03 by 9i7PCSZyMzot
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:03 by 9i7PCSZyMzot
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-18 7/350 2026-09-19 21:03 by 9i7PCSZyMzot
[教师之家] 现代”学阀”该如何界定 +3 iaeyuan 2026-09-19 3/150 2026-09-19 20:52 by 没昵称呀
[基金申请] 国社科系统bug了，是不是要放榜了？ +7 kynobel 2026-09-16 9/450 2026-09-19 14:52 by 接好运婷
[考博] 申博发邮件 +8 Lmengk 2026-09-15 9/450 2026-09-19 09:27 by 中间体超市
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组｜2027级博士研究生招生公告 +7 水士口 2026-09-16 8/400 2026-09-16 13:47 by kkklens
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +8 两三岁ss 2026-09-14 8/400 2026-09-16 09:46 by 水士口
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭