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chenjiahao

木虫 (正式写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by gege43 at 2014-11-06 09:25:18
你用的机械泵是什么类型, 干泵还是油泵, 干泵的话有可能是改换里面的线圈了 时间长的磨损严重

用的是油泵。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
这个地方真不错
11楼2014-11-07 08:18:08
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wtxlx04

金虫 (正式写手)

引用回帖:
10楼: Originally posted by chenjiahao at 2014-11-07 08:17:27
有循环水,工作时泵比较凉,泵抽速怎么测试呢?
...

如果比较凉的话一般没啥问题啊。我们的泵只要循环水温度高或者水流小导致泵体温度很高的话,就会导致功能下降。
抽速我不会测,但是一般的方法貌似是把真空度和时间做一条曲线,根据腔体体积可以算出抽速来,毕竟还涉及放气那些因素,好像可以排除。
那分子泵没问题的话难道前级泵不太好么...分子泵是压缩比,前级压力高两个量级,那你的极限真空也就高两个量级。。。
12楼2014-11-07 10:13:32
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zarke

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
chenjiahao: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-11-09 08:36:44
看你描述的现象,真空室没漏,材料放气也没问题,机械泵抽气能力也行,现主要问题应该是闸板阀以下部分,也就是机械泵、分子泵、闸板阀这条管路上的问题,你可以做个测试,用分子泵抽系统进入到5e-2,关分子泵,关前级阀,不关闸板阀,看真空是否很快掉下去,如果很快,闸板阀可能有问题,如果不快,怀疑分子泵抽速。另外用油泵粗抽时不要抽到5pa,抽到30左右就可以开分子泵了,否则返油。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
13楼2014-11-08 08:41:34
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yuenoble

新虫 (初入文坛)

1.抽气速度慢,首先考虑真空泵抽气能力是否降低,泵是否需要维修保养;
2.腔室长期处于大气状态,或者残留油性/水性物质等,放气严重,影响抽气;
14楼2016-01-13 23:53:28
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