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chenjiahao

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9楼: Originally posted by gege43 at 2014-11-06 09:25:18
你用的机械泵是什么类型，干泵还是油泵，干泵的话有可能是改换里面的线圈了时间长的磨损严重

用的是油泵。

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这个地方真不错

11楼2014-11-07 08:18:08

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wtxlx04

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10楼: Originally posted by chenjiahao at 2014-11-07 08:17:27
有循环水，工作时泵比较凉，泵抽速怎么测试呢?
...

如果比较凉的话一般没啥问题啊。我们的泵只要循环水温度高或者水流小导致泵体温度很高的话，就会导致功能下降。
抽速我不会测，但是一般的方法貌似是把真空度和时间做一条曲线，根据腔体体积可以算出抽速来，毕竟还涉及放气那些因素，好像可以排除。
那分子泵没问题的话难道前级泵不太好么...分子泵是压缩比，前级压力高两个量级，那你的极限真空也就高两个量级。。。

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12楼2014-11-07 10:13:32

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zarke

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
chenjiahao: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-11-09 08:36:44

看你描述的现象，真空室没漏，材料放气也没问题，机械泵抽气能力也行，现主要问题应该是闸板阀以下部分，也就是机械泵、分子泵、闸板阀这条管路上的问题，你可以做个测试，用分子泵抽系统进入到5e-2，关分子泵，关前级阀，不关闸板阀，看真空是否很快掉下去，如果很快，闸板阀可能有问题，如果不快，怀疑分子泵抽速。另外用油泵粗抽时不要抽到5pa，抽到30左右就可以开分子泵了，否则返油。

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13楼2014-11-08 08:41:34

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yuenoble

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1.抽气速度慢，首先考虑真空泵抽气能力是否降低，泵是否需要维修保养；
2.腔室长期处于大气状态，或者残留油性/水性物质等，放气严重，影响抽气；

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14楼2016-01-13 23:53:28

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