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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » 关于真空检漏
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chenjiahao

木虫 (正式写手)

[求助] 关于真空检漏 已有6人参与

求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？
希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。
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这个地方真不错
1楼 2014-11-04 09:30:54
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by gege43 at 2014-11-06 09:25:18
你用的机械泵是什么类型， 干泵还是油泵， 干泵的话有可能是改换里面的线圈了 时间长的磨损严重

用的是油泵。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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这个地方真不错
11楼2014-11-07 08:18:08
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南京的李工

禁言 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★有帮助 2014-11-04 10:41:14
1各连接处涂些玻璃胶。
2天冷各部件、密封等收缩，间隙变大，也有原因。
3同时气温低，第二天早8点比以前真空低也正常。
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2楼2014-11-04 10:10:28
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 南京的李工 at 2014-11-04 10:10:28
1各连接处涂些玻璃胶。
2天冷各部件、密封等收缩，间隙变大，也有原因。
3同时气温低，第二天早8点比以前真空低也正常。

这个在8月份很热的时候就这样了，后来清理了腔室，稍微好了一点，现在又慢了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2014-11-04 10:40:59
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141015

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-11-05 11:29:56
本帖内容被屏蔽
4楼2014-11-04 20:26:59
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