| 查看: 2137 | 回复: 13 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
chenjiahao木虫 (正式写手)
|
[求助]
关于真空检漏 已有6人参与
|
||
|
求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？ 希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 制程设备维护保养 |
» 猜你喜欢
311（085601）求调剂
已经有4人回复
-
305求调剂
已经有4人回复
-
一志愿北化085600材料专硕275|有文章专利｜求调剂
已经有7人回复
-
一志愿华理，数一英一285求A区调剂
已经有12人回复
-
289求调剂
已经有11人回复
-
食品工程专硕一志愿中海洋309求调剂
已经有7人回复
-
生物学学硕，一志愿湖南大学，初试成绩338
已经有6人回复
-
321求调剂
已经有7人回复
-
343求调剂
已经有4人回复
-
本科新能源科学与工程，一志愿华理能动285求调剂
已经有6人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请问哪里有可以烧2000℃的真空炉？？
已经有15人回复
- 真空镀膜--粗抽
已经有8人回复
- 求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题
已经有16人回复
- 气质联用仪持续运行真的好吗
已经有6人回复
- 真空抽不上去什么原因
已经有16人回复
- 设备气密性不好
已经有10人回复
- 关于充气管路设计
已经有6人回复
- 真空热压烧结炉怎么检漏呀？
已经有8人回复
- 怎么解决，体系的真空问题
已经有24人回复
- 【求助】高压釜在做实验前如何试漏？
已经有11人回复
- 磁控溅射台真空度问题
已经有11人回复
- 怎样来提高二氧化碳气体激光器的稳定性
已经有10人回复
- 催化剂的还原问题
已经有8人回复
- 热压烧结抽真空问题
已经有19人回复
- 手套箱漏气问题求教
已经有11人回复
- 【求助】浸渍树脂烧结石墨
已经有8人回复
- 【讨论】对于高温高压反应釜
已经有14人回复
- 【交流】磁控溅射 --抽不下去真空
已经有23人回复
- 【求助】吡啶吸附做红外
已经有10人回复
9楼2014-11-06 09:25:18
南京的李工
禁言 (文坛精英)
- 应助: 5349 (副教授)
- 贵宾: 0.315
- 金币: 18017.3
- 散金: 12849
- 红花: 579
- 帖子: 11236
- 在线: 919.8小时
- 虫号: 3450490
- 注册: 2014-09-30
- 性别: GG
- 专业: 高分子助剂
2楼2014-11-04 10:10:28
chenjiahao
木虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 2067.4
- 散金: 20
- 红花: 4
- 帖子: 796
- 在线: 196.1小时
- 虫号: 1372674
- 注册: 2011-08-19
- 性别: GG
- 专业: 人工晶体
3楼2014-11-04 10:40:59
★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-11-05 11:29:56
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+3, ★★★很有帮助 2014-11-05 11:29:56
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2014-11-04 20:26:59
20