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chenjiahao

木虫 (正式写手)

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[求助] 关于真空检漏已有6人参与

求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？
希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。

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这个地方真不错

1楼 2014-11-04 09:30:54

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wtxlx04

金虫 (正式写手)

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引用回帖:

10楼: Originally posted by chenjiahao at 2014-11-07 08:17:27
有循环水，工作时泵比较凉，泵抽速怎么测试呢?
...

如果比较凉的话一般没啥问题啊。我们的泵只要循环水温度高或者水流小导致泵体温度很高的话，就会导致功能下降。
抽速我不会测，但是一般的方法貌似是把真空度和时间做一条曲线，根据腔体体积可以算出抽速来，毕竟还涉及放气那些因素，好像可以排除。
那分子泵没问题的话难道前级泵不太好么...分子泵是压缩比，前级压力高两个量级，那你的极限真空也就高两个量级。。。