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chenjiahao

木虫 (正式写手)

[求助] 关于真空检漏已有1人参与

求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？
希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。
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1楼2014-11-03 20:11:48
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wangxdsxs

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chenjiahao: 金币+50, ★★★很有帮助, 谢谢！ 2014-11-03 20:28:16
tiamo6089: 金币-40, 楼主发金币发多了，代为扣回，敬请谅解。 2014-11-04 16:33:16
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。

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2楼2014-11-03 20:22:28
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-03 20:22:28
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。
...

你说的高规面板上的出气按钮是哪个啊？
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3楼2014-11-03 20:33:10
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-03 20:22:28
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。
...

我知道那个按钮了，谢谢
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4楼2014-11-03 20:35:17
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
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2楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-03 20:22:28
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。
...

我试了，好像效果不太好。

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5楼2014-11-03 21:28:36
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wangxdsxs

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by chenjiahao at 2014-11-03 21:28:36
我试了，好像效果不太好。
...

再者就是空气湿度对抽气速率有影响，这几天湿度有没有变化，也有可能是分子泵与腔体连接的闸板阀漏气，但是这种可能较小，你现在三个小时能抽到多少？

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6楼2014-11-03 22:35:48
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
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6楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-03 22:35:48
再者就是空气湿度对抽气速率有影响，这几天湿度有没有变化，也有可能是分子泵与腔体连接的闸板阀漏气，但是这种可能较小，你现在三个小时能抽到多少？
...

我们这空气很干，湿度一般不高于55%，闸扳阀如果有问题那漏气不也会很严重吗，3小时抽到1.3E-3Pa.谢谢你帮忙分析。

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7楼2014-11-04 09:20:34
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wangxdsxs

金虫 (正式写手)
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7楼: Originally posted by chenjiahao at 2014-11-04 09:20:34
我们这空气很干，湿度一般不高于55%，闸扳阀如果有问题那漏气不也会很严重吗，3小时抽到1.3E-3Pa.谢谢你帮忙分析。
...

三个小时才抽到10-3的话，确实有点慢了，建议用检漏仪检漏。或者你烘一下真空室。

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8楼2014-11-04 12:45:11
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chenjiahao

木虫 (正式写手)
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8楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-04 12:45:11
三个小时才抽到10-3的话，确实有点慢了，建议用检漏仪检漏。或者你烘一下真空室。
...

加热的方法使用过了，能抽到7E-4，但是后面就非常慢了，20min才0.1E-4
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9楼2014-11-04 13:02:14
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wangxdsxs

金虫 (正式写手)
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9楼: Originally posted by chenjiahao at 2014-11-04 13:02:14
加热的方法使用过了，能抽到7E-4，但是后面就非常慢了，20min才0.1E-4...

保压没问题的话说明静密封是没有问题的，抽不上去有可能是动密封出问题，比如各类闸板阀，电磁阀，先打酒精，不行再检漏。

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10楼2014-11-04 13:50:56
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