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chenjiahao

木虫 (正式写手)

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专业: 人工晶体

[求助] 关于真空检漏已有1人参与

求助各位大神，我们是做磁控溅射镀膜，要抽真空至2E10-4，先从大气压用机械泵抽至5Pa，然后用分子泵开始抽，还是能抽到2E10-4，但是时间更久了，前后要花7-8个小时，而以前却只要3个多小时。维修：拆了气路上的两个电磁阀以及波纹管，都进行了清洗重新安装，然后抽真空至10E-4，在气路的连接口喷酒精，气压仪表没有任何波动。测试漏汽滤：头一天晚上8点抽至9.5E10-4，关机时6.5E10-2，第二天早8点0.20pa；对比以前是0.45Pa,漏气来说现在漏率更低。还有什么原因能使抽速变得这么低呢，outgasing（腔室内杂质放气）的影响有这么大么？
希望各位大神多多帮忙，小弟被老板骂成猪头了。

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这个地方真不错

1楼2014-11-03 20:11:48

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chenjiahao

木虫 (正式写手)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by wangxdsxs at 2014-11-03 20:22:28
你的保压没问题，所以应该不是漏气的事，我感觉有可能是高真空规管使用时间长了，灯丝氧化使之测试灵敏度下降，你抽真空的状态下，点一下高规面板上的除气按钮，看看抽真空效果能不能回到以前。
...

我试了，好像效果不太好。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]