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灰常焱龑木虫 (正式写手)
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磁控溅射机械泵真空抽不下去 已有3人参与
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现在使用机械泵只能抽到20Pa左右，就抽不下去了。但是使用分子泵还能抽到5*10^-4Pa。换过机械泵油，调过零点，真空都降不下去。应该如何处理啊? 下面是气路图：  |
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3楼2015-10-07 11:56:41
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jerryxinjie
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7楼2015-10-16 00:27:06
