应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射机械泵真空抽不下去
71/1返回列表
查看: 1726  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

灰常焱龑

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射机械泵真空抽不下去 已有3人参与

现在使用机械泵只能抽到20Pa左右，就抽不下去了。但是使用分子泵还能抽到5*10^-4Pa。换过机械泵油，调过零点，真空都降不下去。应该如何处理啊?
下面是气路图：
磁控溅射机械泵真空抽不下去
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-10-04 18:18:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。
机械泵抽的可以了，我们这台以前也能抽到10到20pa，现在也不行了，抽到50pa我就可以打开分子泵了，没问题的，小于100pa都行的，至于分子泵，我们这台可以抽到4X10的-4，但是要抽四五个小时。有问题一起讨论。
赞一下(1人) 回复此楼
谦虚谨慎的学习，与大家共勉！
2楼2015-10-05 09:56:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhaolianbo

木虫 (正式写手)
这个 已经够可以了，不用担心
赞一下 回复此楼
3楼2015-10-07 11:56:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bluepanda4

铁杆木虫 (著名写手)

博士要谦虚。。。。

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主注意素质啊，我这么回复，这么辛苦，早知道楼主这样，我就光看不说话了
赞一下 回复此楼
谦虚谨慎的学习，与大家共勉！
4楼2015-10-07 14:04:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

灰常焱龑

木虫 (正式写手)
好的谢谢大家
回复此楼
5楼2015-10-08 19:05:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hrandy

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

抽气后关闭阀，测量气压上升速度，若过快就是有地方漏气。
赞一下 回复此楼
6楼2015-10-15 21:54:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jerryxinjie

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
7楼2015-10-16 00:27:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 灰常焱龑 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭