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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射Cr发现靶材一直在掉渣，怎么回事？
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xiaola507

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射Cr发现靶材一直在掉渣，怎么回事？已有1人参与

各位大虾，如题，磁控溅射制备铬Cr电极，发现每次溅射完挡板可以看到靶材掉的渣，溅射的功率是50W，靶材直径100mm，气压0.4Pa，流量15SCCM，靶基距100mm，请问这是怎么回事呢？

磁控溅射Cr发现靶材一直在掉渣，怎么回事？
8360985316362201641.jpg
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做科研其实是为了研究自己。
1楼2015-06-19 15:20:29
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xiaola507

金虫 (小有名气)
是射频的
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做科研其实是为了研究自己。
2楼2015-06-19 15:22:14
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xiaola507

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by icwafer at 2015-06-19 16:11:20
估计靶材不好，需要具体细节支持去分析问题

用之前的设备做没问题，靶材换到新买的一台设备上就开始掉渣了
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做科研其实是为了研究自己。
4楼2015-06-19 16:58:33
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xiaola507

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by icwafer at 2015-06-19 18:52:11
难道是设备磁场问题
...

这个怎么讲，那减小功率是不是最好的方式？
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做科研其实是为了研究自己。
6楼2015-06-22 10:53:06
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