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磁控溅射Cr发现靶材一直在掉渣，怎么回事？已有1人参与
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各位大虾，如题，磁控溅射制备铬Cr电极，发现每次溅射完挡板可以看到靶材掉的渣，溅射的功率是50W，靶材直径100mm，气压0.4Pa，流量15SCCM，靶基距100mm，请问这是怎么回事呢？ 8360985316362201641.jpg |
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icwafer
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