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金虫 (小有名气)

[求助] 用过磁控溅射镀磁性靶材的同学进来一下 已有1人参与

请问磁性的靶材可以放到非磁性靶源(放靶的底座)上吗?  非磁性靶材可以放到磁性的靶源(放靶的底座)上吗?
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谦虚使人进步,骄傲使人落后。
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
122413087: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢你 2015-04-23 22:21:32
磁性靶材应该不可以放在非磁靶上,磁场强度不够。反之可以。建议咨询下生产厂家,看看原有磁场强度是否够用,不排除原有磁场强度够用的可能。

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-04-23 07:11:18
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122413087

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-23 07:11:18
磁性靶材应该不可以放在非磁靶上,磁场强度不够。反之可以。建议咨询下生产厂家,看看原有磁场强度是否够用,不排除原有磁场强度够用的可能。

再问一下,磁场强度不够是起不了辉的意思吗?  那假如能起辉的话,磁性靶材放在非磁性靶源上镀膜    对非磁性靶源有损害吗?
谦虚使人进步,骄傲使人落后。
3楼2015-04-23 22:24:23
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Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 122413087 at 2015-04-23 22:24:23
再问一下,磁场强度不够是起不了辉的意思吗?  那假如能起辉的话,磁性靶材放在非磁性靶源上镀膜    对非磁性靶源有损害吗?...

磁场强度不够,也可以起辉,即放电,但是放电模式是二级放电(放电电压几千V),不是磁控放电(放电电压500~600V)。
第二个问题,理论上不会有影响。但工业上应用一般铁磁性靶材都用强磁靶,而不是一般的靶源。

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2015-04-24 07:14:11
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122413087

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-04-24 07:14:11
磁场强度不够,也可以起辉,即放电,但是放电模式是二级放电(放电电压几千V),不是磁控放电(放电电压500~600V)。
第二个问题,理论上不会有影响。但工业上应用一般铁磁性靶材都用强磁靶,而不是一般的靶源。
...

好的。了解了,非常谢谢。
谦虚使人进步,骄傲使人落后。
5楼2015-04-30 09:34:48
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