版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xiaola507

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1.7
帖子: 286
在线: 59.8小时
虫号: 698922
注册: 2009-02-09
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射Cr发现靶材一直在掉渣，怎么回事？已有1人参与

各位大虾，如题，磁控溅射制备铬Cr电极，发现每次溅射完挡板可以看到靶材掉的渣，溅射的功率是50W，靶材直径100mm，气压0.4Pa，流量15SCCM，靶基距100mm，请问这是怎么回事呢？

磁控溅射Cr发现靶材一直在掉渣，怎么回事？

8360985316362201641.jpg

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

用过磁控溅射镀磁性靶材的同学进来一下已经有4人回复
磁控溅射靶材的加工问题已经有6人回复
做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了已经有9人回复
国内哪家做磁控溅射靶材做的最好？？已经有37人回复
磁控溅射靶材制备方法已经有10人回复
请教一个关于磁控溅射的问题在靶材上贴片已经有16人回复
求教一个磁控溅射的问题相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！已经有13人回复
磁控溅射二氧化硅靶材的过程中会有氧产生吗已经有4人回复
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈已经有33人回复
射频磁控溅射陶瓷靶材开裂已经有18人回复
磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？已经有20人回复
磁控溅射换靶材之后功率变化很大？已经有8人回复
直流磁控溅射NiFe合金靶材厚度应为多少啊？已经有7人回复
关于磁控溅射靶材的颗粒已经有10人回复
直流磁控溅射溅射无法起弧靶材刻蚀严重已经有13人回复
射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？已经有5人回复
磁控溅射靶材bondig 已经有14人回复
【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次？或者多久？已经有9人回复
【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离已经有20人回复

做科研其实是为了研究自己。

1楼2015-06-19 15:20:29

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

tmq1988

捐助贵宾 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 0.5
散金: 100
帖子: 20
在线: 225.8小时
虫号: 2129724
注册: 2012-11-16
性别: GG
专业: 金属功能材料

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容

可能靶材不够致密？可以试试我们的靶材，都是钢研也的设备做的，我们Cr靶纯度3N5，HIP工艺

7楼2015-07-07 09:43:50

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 xiaola507 的主题更新