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甲子湖

金虫 (小有名气)

[求助] 铝靶表面溅射后为什么会变成这样? 已有4人参与

rt 离子束辅助沉积工艺镀膜

铝靶表面溅射后为什么会变成这样?
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甲子湖

金虫 (小有名气)

都没人理啊
2楼2015-06-01 08:31:32
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
甲子湖: 金币+5, 有帮助 2015-06-01 14:00:06
溅射不均匀呀,是不是表面处理有问题,或者是靶材不合格(如加工后形成带状晶)
3楼2015-06-01 10:18:03
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甲子湖

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by houlucky at 2015-06-01 10:18:03
溅射不均匀呀,是不是表面处理有问题,或者是靶材不合格(如加工后形成带状晶)

你的意思是表面平整度不好?那应该怎么解决呢
4楼2015-06-01 11:58:52
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by 甲子湖 at 2015-06-01 11:58:52
你的意思是表面平整度不好?那应该怎么解决呢...

不是指平整度不高,比如溅射前的表面清洗,正式溅射开始前的炼靶等都要一丝不苟的进行。另外看看靶材金相,晶粒是否均匀。
5楼2015-06-01 17:55:22
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by 甲子湖 at 2015-06-01 11:58:52
你的意思是表面平整度不好?那应该怎么解决呢...

不是指平整度不高,比如溅射前的表面清洗,正式溅射开始前的炼靶等都要一丝不苟的进行。另外看看靶材金相,晶粒是否均匀。
6楼2015-06-01 17:55:28
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scienceand

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

内容已删除
7楼2015-08-03 14:57:40
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candy_hy

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

靶材晶粒不均匀所致!
8楼2016-09-07 16:23:07
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

靶材表面都不平整,是不是车的表面,有些厂家都不给抛光,不抛光的铝靶材,溅射时候跑道容易偏离,所以溅射不好
这个明显是靶材的问题,换厂家吧

铝靶材一定记得要表面光洁平整的,镀的时候你才好控制溅射跑道
9楼2017-09-07 16:29:25
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