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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铝靶表面溅射后为什么会变成这样？
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甲子湖

金虫 (小有名气)

[求助] 铝靶表面溅射后为什么会变成这样？ 已有4人参与

rt 离子束辅助沉积工艺镀膜

铝靶表面溅射后为什么会变成这样？
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1楼 2015-05-29 16:02:24
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甲子湖

金虫 (小有名气)
都没人理啊
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2楼2015-06-01 08:31:32
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
甲子湖: 金币+5, ★有帮助 2015-06-01 14:00:06
溅射不均匀呀，是不是表面处理有问题，或者是靶材不合格（如加工后形成带状晶）
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3楼2015-06-01 10:18:03
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甲子湖

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by houlucky at 2015-06-01 10:18:03
溅射不均匀呀，是不是表面处理有问题，或者是靶材不合格（如加工后形成带状晶）

你的意思是表面平整度不好？那应该怎么解决呢
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4楼2015-06-01 11:58:52
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by 甲子湖 at 2015-06-01 11:58:52
你的意思是表面平整度不好？那应该怎么解决呢...

不是指平整度不高，比如溅射前的表面清洗，正式溅射开始前的炼靶等都要一丝不苟的进行。另外看看靶材金相，晶粒是否均匀。
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5楼2015-06-01 17:55:22
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by 甲子湖 at 2015-06-01 11:58:52
你的意思是表面平整度不好？那应该怎么解决呢...

不是指平整度不高，比如溅射前的表面清洗，正式溅射开始前的炼靶等都要一丝不苟的进行。另外看看靶材金相，晶粒是否均匀。
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6楼2015-06-01 17:55:28
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scienceand

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

内容已删除
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7楼2015-08-03 14:57:40
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candy_hy

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

靶材晶粒不均匀所致！
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8楼2016-09-07 16:23:07
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pvdmaterial

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

靶材表面都不平整，是不是车的表面，有些厂家都不给抛光，不抛光的铝靶材，溅射时候跑道容易偏离，所以溅射不好
这个明显是靶材的问题，换厂家吧

铝靶材一定记得要表面光洁平整的，镀的时候你才好控制溅射跑道
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9楼2017-09-07 16:29:25
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