应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 硅片上的氧化硅漏电
51/1返回列表
查看: 1802  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

530557847

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片上的氧化硅漏电 已有3人参与

热生长了一层氧化硅的进口硅片，经过丙酮、酒精、去离子水各超声15分钟后，用氮气吹干。接着在上面用磁控溅射镀一层ZnO膜，再在上面真空热蒸发镀一层Al膜。或者直接只镀一层Al膜。发现这两个情况都经常出现氧化硅层绝缘性破坏的情况，也就是说上面的Al跟下面的Si直接导通了，氧化硅在中间起不了绝缘作用，漏电流特别大导致实验进行不了。百思不得其解，非常困惑中。有没有哪位前辈了解这样的情况，跪求指导。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-05-21 18:10:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liqingyan216

新虫 (初入文坛)
老铁问题解决了吗？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2018-12-20 20:35:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

windsuk2011

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也遇到过漏电的情况，别人告诉我会不会是溅射时，Al膜和硅片的侧面接触，不过我的情况是没有接触，所以也比较纠结到底是什么原因，到现在也没解决。。。不过不知道你怎么样？
赞一下 回复此楼
2楼2015-05-26 09:03:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

530557847

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by windsuk2011 at 2015-05-26 09:03:47
我也遇到过漏电的情况，别人告诉我会不会是溅射时，Al膜和硅片的侧面接触，不过我的情况是没有接触，所以也比较纠结到底是什么原因，到现在也没解决。。。不过不知道你怎么样？

可以加您的QQ交流一下吗？我的：530557847
赞一下 回复此楼
3楼2015-05-26 10:44:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

恒爱琳

铁杆木虫 (正式写手)

觉者
氧化硅厚度问题？
赞一下 回复此楼
为学日益为道日损
4楼2015-05-26 15:24:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭