| 查看: 1887 | 回复: 8 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
硅片上的氧化硅漏电 已有3人参与
|
||
| 热生长了一层氧化硅的进口硅片，经过丙酮、酒精、去离子水各超声15分钟后，用氮气吹干。接着在上面用磁控溅射镀一层ZnO膜，再在上面真空热蒸发镀一层Al膜。或者直接只镀一层Al膜。发现这两个情况都经常出现氧化硅层绝缘性破坏的情况，也就是说上面的Al跟下面的Si直接导通了，氧化硅在中间起不了绝缘作用，漏电流特别大导致实验进行不了。百思不得其解，非常困惑中。有没有哪位前辈了解这样的情况，跪求指导。 |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有0人回复
-
论文投稿
已经有19人回复
-
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有110人回复
-
280 求调剂
已经有2人回复
-
08工科电气工程专硕数一英一300求电气工程调剂
已经有0人回复
-
085400电子信息求调剂
已经有3人回复
-
310分求调剂
已经有0人回复
-
机械352分求调剂，本科太原理工大学
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- SEM中硅片替代品
已经有12人回复
- 【交流】硅片表面涂不上膜的问题
已经有5人回复
- 如何才能使硅片表面疏水？（30金币赠送）
已经有32人回复
- 在硅片上长了氧化硅氮化硅薄膜，用什么测反射率
已经有9人回复
- 同样规格的硅片为什么颜色有区别？
已经有6人回复
- 一般买回来的单晶硅片（圆的那种）的表面是不是有一层自然的氧化膜（二氧化硅）?
已经有7人回复
- 纳米器件为什么要选用硅片作为基底？
已经有13人回复
- 硅片表面的超薄膜怎么表征？
已经有11人回复
- 在硅片上镀金之前对硅片进行表面清洗的若干问题求助
已经有8人回复
- 硅片作为衬底时怎么去除表面氧化层
已经有12人回复
- 硅经过热氧化的作用？
已经有6人回复
- 【求助】做拉曼光谱时用的硅片是怎么样的？
已经有11人回复
- 镀金硅片如何清洗
已经有6人回复
- 怎样判断硅片表面清洗干净？
已经有11人回复
- TMAH腐蚀硅片时保护硅片表面的铝电极
已经有8人回复
- 求教硅片上镀金前要镀多厚的钛能使其牢固？
已经有11人回复
- 关于用硫酸双氧水处理硅片的问题
已经有4人回复
- 【求助】硅片刻蚀
已经有4人回复
- 【求助】硅片和热氧化法生长二氧化硅的硅片
已经有3人回复
- 【求助】SEM ITO or 硅片？
已经有16人回复
- 【请教】硅片清洗后如何保存
已经有17人回复
- 【求助】请问如何在硅片上镀一层二氧化硅薄膜？
已经有34人回复
- 【求助】求助：要做AFM前硅片怎么处理和旋涂？
已经有21人回复
3楼2015-05-26 10:44:03
windsuk2011
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1202.3
- 帖子: 53
- 在线: 27.6小时
- 虫号: 2222758
- 注册: 2013-01-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2015-05-26 09:03:47
恒爱琳
铁杆木虫 (正式写手)
觉者
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 5745.5
- 红花: 3
- 帖子: 770
- 在线: 212.8小时
- 虫号: 2688384
- 注册: 2013-09-28
- 性别: GG
- 专业: 概率论与随机分析
4楼2015-05-26 15:24:38
5楼2015-05-30 14:56:51
