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贝壳摩尔

金虫 (小有名气)

[求助] 硅经过热氧化的作用?

制备的巨磁电阻多层膜时,为什么需要沉积在经过热氧化的硅片上?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
贝壳摩尔: 金币+2, ★★★很有帮助, 非常感谢,明白了! 2013-03-15 08:54:09
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-15 15:43:33
不绝缘的话,电阻做出来又有啥意义呢?
不做热氧的话,做好的电阻就和体硅并联
2楼2013-03-14 17:18:17
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luyu2221

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zhaohaixing: 鼓励交流 2013-03-15 15:43:38
贝壳摩尔: 金币+1, ★★★很有帮助, 谢谢! 2013-03-15 17:06:37
热氧化形成绝缘层,也可直接购买带SiO2的Si基板。
3楼2013-03-15 11:27:13
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veshly

新虫 (初入文坛)

钝化表面悬挂键吧,你的硅是要干嘛的啊?
4楼2013-03-27 14:32:55
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xiehaimei515

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-03-14 17:18:17
不绝缘的话,电阻做出来又有啥意义呢?
不做热氧的话,做好的电阻就和体硅并联

怎么热氧化呢?
加油
5楼2013-12-11 16:11:45
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
5楼: Originally posted by xiehaimei515 at 2013-12-11 16:11:45
怎么热氧化呢?...

有专门的热氧化炉,也可以直接购买氧化好的硅片。氧化片可以找“静静一yi”买
6楼2013-12-11 17:41:17
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士


引用回帖:
5楼: Originally posted by xiehaimei515 at 2013-12-11 16:11:45
怎么热氧化呢?...

我这边可以做热氧化
7楼2016-04-01 09:05:13
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