| 查看: 3601 | 回复: 20 | ||||
[交流]
【求助】FET测试 氧化硅绝缘层漏电 已有7人参与
|
|
这段时间做FET device，要做低温。但是发现氧化硅绝缘层居然漏电。不知道是怎么回事。不知道有经验的兄弟能否给指点下。 我用的是300nmSiO2/500um Si. Pt电极。标准的电子束曝光过程。 PMMA－曝光－显影－镀电极 多谢各位了。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 硬货 |
» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有142人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 稀硝酸氧化取代甲苯的甲基到羧基用什么催化剂比较适合？
已经有5人回复
- 北京哪里可以做阻燃测试
已经有4人回复
- 热塑性复合塑料薄膜拉伸性能测试标准ASTM ，GB(新学期巨献，涵盖了所有的参考标准)
已经有161人回复
- 怎样去掉硅表面的氧化层？
已经有3人回复
- 求助：氧化硅表面的羟基是怎么来的？
已经有11人回复
- 求帮！！我在ITO上电沉积上了一层氧化锌薄膜现在想做荧光测试该怎么做？
已经有8人回复
- 计算表面时：Vacuum真空层和slab层厚度收敛性测试，保持超晶胞体积不变吗？？
已经有10人回复
- 【请教】微米尺度氧化硅纳米球单层膜的制备
已经有13人回复
- 新买的硅片自然条件下氧化层的厚度是多少？
已经有4人回复
- 【求助】层析柱
已经有6人回复
- 【讨论】氧化硅表面包一层氧化铈，说出您的高见
已经有20人回复
2楼2010-03-15 16:47:46
3楼2010-03-15 17:03:07
maccaboy
至尊木虫 (著名写手)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 11457.8
- 散金: 15
- 红花: 1
- 帖子: 2215
- 在线: 1433.4小时
- 虫号: 266468
- 注册: 2006-07-16
- 性别: GG
- 专业: 敏感电子学与传感器
4楼2010-03-15 19:42:46
5楼2010-03-15 20:59:20
zlj4165
银虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 12775.3
- 散金: 342
- 红花: 2
- 帖子: 2006
- 在线: 357.1小时
- 虫号: 452041
- 注册: 2007-11-05
- 专业: 半导体材料
6楼2010-03-15 22:49:34
7楼2010-03-16 09:36:31
8楼2010-03-16 10:40:34
jiangweijw
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 203.4
- 帖子: 140
- 在线: 25.2小时
- 虫号: 815575
- 注册: 2009-07-25
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物理
9楼2010-05-26 15:21:05
diamondfire
木虫 (正式写手)
- 应助: 12 (小学生)
- 贵宾: 0.005
- 金币: 2332.3
- 散金: 1502
- 红花: 6
- 帖子: 709
- 在线: 216.1小时
- 虫号: 335809
- 注册: 2007-03-31
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
10楼2010-06-27 18:07:28
10