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橡树林

银虫 (小有名气)

[求助] 新买的硅片自然条件下氧化层的厚度是多少？

有文献支持的更好
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1楼 2011-01-18 09:44:27
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zhaoshuailj

铜虫 (小有名气)
不懂 没学过 帮你顶了
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2楼2011-01-18 10:13:15
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abingchem

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by 橡树林 at 2011-01-18 09:44:27:
有文献支持的更好

虽然在这个行业，也没太关注过这个。

新切割出来的硅片有240微米的，国内可能正在做220甚至更低的，一般至少是由6个9以上纯度硅组成的，切割的时候有保护气氛，这个氧化层厚度应该非常之薄。看网上做硅片上氧化硅镀层的，可以做到300nm，也就是0.3个微米。如果需要，推荐以购买产品的名义问一下硅片厂家。
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冰是从最寒冷的那天开始融化的
3楼2011-01-19 09:19:24
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sandi

至尊木虫 (文坛精英)
引用回帖:
Originally posted by abingchem at 2011-01-19 09:19:24:

虽然在这个行业，也没太关注过这个。

新切割出来的硅片有240微米的，国内可能正在做220甚至更低的，一般至少是由6个9以上纯度硅组成的，切割的时候有保护气氛，这个氧化层厚度应该非常之薄。看网上做硅片上氧 ...

关注，学习一下..
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4楼2011-01-23 11:27:36
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

P24底部：
约11.5nm
https://etds.lib.ncku.edu.tw/etd ... 2200911563290-1.pdf
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没有困难创造困难也要上网。
5楼2011-01-28 07:20:04
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