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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 交流互助 » 【求助】请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗？
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hebeilisbi

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗？ 已有7人参与

请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗？

   大家好！我想分析金属表面的native oxide，不知用TEM可否清晰地看
到氧化层的边界？如果不能，用eels或者EDS可否做到成分的分析？eels
和EDS的深度和空间分辨率多少啊？谢谢！

（我的样品是CuInGa的三元合金，厚度大概几个微米，氧化层估计几纳
米吧）
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1楼 2011-03-17 11:42:51
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by hebeilisbi at 2011-03-17 11:42:51:
请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗？

   大家好！我想分析金属表面的native oxide，不知用TEM可否清晰地看
到氧化层的边界？如果不能，用eels或者EDS可否做到成分的分析？eels
和EDS的深度和 ...

应该可以，扫界面能谱
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2楼2011-03-22 08:37:24
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qmn_5158

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
TEM可以清晰地看到氧化层的边界，我做过、
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3楼2011-04-02 16:46:01
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kingway2301

银虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by qmn_5158 at 2011-04-02 16:46:01:
TEM可以清晰地看到氧化层的边界，我做过、

SEM呢？
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We should say YES to everything!
4楼2011-04-03 09:12:53
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cc_861106

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yanjunqing(金币+1): 恩，有道理 2011-05-03 09:13:05
SEM一般无法测定金属表面氧化层的厚度，特别是在氧化层很薄的情况下，做SEM只能做一下EDS，打一下能谱看看金属表面有何成分，要想得知氧化层厚度的话，就需要做一下TEM或者HRTEM了，个人意见，仅供参考！
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5楼2011-04-09 16:37:54
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dlionel

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by qmn_5158 at 2011-04-02 16:46:01:
TEM可以清晰地看到氧化层的边界，我做过、

我在si基底上镀一层0.5um的薄膜，TEM下能看到吗？
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doesun
Good times, hard times, but never bad times.
6楼2011-05-02 15:06:27
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qmn_5158

银虫 (正式写手)
可以的
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7楼2011-05-03 10:02:44
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doesun

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
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引用回帖:
6楼: Originally posted by dlionel at 2011-05-02 15:06:27:
我在si基底上镀一层0.5um的薄膜，TEM下能看到吗？

可以的，我们做这个服务，欢迎合作
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DOESUN中国首家透射电镜截面制样商 15800691931
8楼2011-11-27 13:03:15
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shwp

铜虫 (小有名气)
可以的。我们做这个分析的。之前做过好多类似的。
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021-51035916,www.weiputech.com，成分检测，物性，老化测试，杂质分析
9楼2011-11-28 16:41:33
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