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hebeilisbi

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗? 已有7人参与

请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗?

   大家好!我想分析金属表面的native oxide,不知用TEM可否清晰地看
到氧化层的边界?如果不能,用eels或者EDS可否做到成分的分析?eels
和EDS的深度和空间分辨率多少啊?谢谢!

(我的样品是CuInGa的三元合金,厚度大概几个微米,氧化层估计几纳
米吧)
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dlionel

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by qmn_5158 at 2011-04-02 16:46:01:
TEM可以清晰地看到氧化层的边界,我做过、

我在si基底上镀一层0.5um的薄膜,TEM下能看到吗?

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

Good times, hard times, but never bad times.
6楼2011-05-02 15:06:27
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by hebeilisbi at 2011-03-17 11:42:51:
请问TEM的断面分析可以得到金属表面的氧化层厚度吗?

   大家好!我想分析金属表面的native oxide,不知用TEM可否清晰地看
到氧化层的边界?如果不能,用eels或者EDS可否做到成分的分析?eels
和EDS的深度和 ...

应该可以,扫界面能谱
2楼2011-03-22 08:37:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qmn_5158

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
TEM可以清晰地看到氧化层的边界,我做过、
3楼2011-04-02 16:46:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kingway2301

银虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by qmn_5158 at 2011-04-02 16:46:01:
TEM可以清晰地看到氧化层的边界,我做过、

SEM呢?
We should say YES to everything!
4楼2011-04-03 09:12:53
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